Materiālu virsmu modifikācija un mikrostrukturēšana ar elektronu kūli

V. Zauls
 

Projekta ietvaros veicamie darba uzdevumi tika izvēlēti ar nolūku atbalstīt vairāku jauno speciālistu apmācību darbam ar elektronu mikroskopijas un elektronu kūļa litogrāfijas aparatūru un turpinot iepriekšējā gada iestrādi. Lai nodemonstrētu plānoto mērķu sasniegšanu praktiski tika parādīta virsmas strukturēšana uz cinka volframāta ZnWO₄ plānas kārtiņas uznesot  polimēru rezista slāni, veicot mikrostrukturēšanu ar elektronu kūli un pielietojot nocelšanas (lift-off) metodi nākošajam alumīnija pārklājuma slānim. Šo procesu rezultātā tika izgatavota precīza testa struktūra metāls – dielektriķis (mikrometru dimensiju šaha galdiņš ar asām robežvirsmām) atomspēka un tuvā lauka vai konofokālā optiskā mikroskopa kalibrēšanai, kuru var lietot gan atstarošanas, gan luminiscences vai Ramana signāla detektēšanas režīmā, sasniedzot augstu signāla/fona attiecību tiešā materiālu sadures robežlīnijas tuvumā. Šāda veida kalibrācijas etaloni ir pieprasīti, bet līdz šim mikroskopijas speciālistiem nav komerciāli pieejami.

Paralēli projekta izpildes gaitā tika sagādāti arī nepieciešamie augstas kvalitātes  ķīmiskie materiāli un piederumi tālākam darbam, kā arī uzlabota attiecīgā darba veikšanai nepieciešamā infrastruktūra.